【作者】 阙端麟 等著
【出版社】 浙江大学出版社
【版次】 2000年12月 第一版
【页数】 556
【ISBN】 7-308-02636-1
【开本】 大16K
内容简介
本书可以提供给从事硅材料生产和研究的科技人员作为了解有关硅材料的性质、硅材料的生产技术和测试方法，以及较深人地了解这些生产技术和测试方法中的关键技术所涉及的理论问题的参考书。也可以提供给从事集成电路制造和研究的科技人员作为了解硅材料的性质及其对于集成电路工艺和器件性能的影响方面的参考书
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最新回复
lemac2 (2008-10-28 16:02:18)
楼主真是好人
谢谢
syq4211 (2008-10-30 10:52:50)
lemac2 (2008-11-24 08:54:02)
再重新下载一次
再感谢楼主一次