RDJ-I正型光刻胶
概述
RDJ-I正型光刻胶是液晶显示器用正性光刻胶,可同时适用于TN、STN-LCD、VFD制作,具有高感度,高粘附性,高分辨率,良好的涂布性能和对基板粘附性极好等优点。RDJ-I正型光刻胶采用环保溶剂。
规格
RDJ-I正型光刻胶一般规格有30mpa.s,40mpa.s,50 mpa.s,使用时可根据需要稀释成不同固含量和粘度。
推荐工艺条件涂布 | 23℃,辊涂,膜厚1.0-1.5μm | ||
前烘 | 热板100℃×90sec,自干2h | ||
曝光 | 显影液 | G线stepper(mJ/cm2) | 接近式(mJ/cm2) |
0.40% NaOH | 150 | 85 | |
0.60% NaOH | 60 | 32 | |
1.0%KOH | 45 | 30 | |
显影 | 23℃,0.4-0.6% NaOH,1min,喷淋或浸渍 | ||
后烘 | 热板100℃×120sec,烘箱95℃×50min | ||
蚀刻 | 50℃,FeCl3/HCl或HNO3/ HCl | ||
剥离 | 55℃,4-6%NaOH | ||
RDJ-I正性光刻胶介绍.rar
(2008-05-22 08:53:40, Size: 671 KB, Downloads: 0)



















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