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根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:(1) 一般水泵,压强可达到1.333~ 100kPa (10~760mmHg)为“粗”真空。(2) 油泵,压强可达0.133~133.3 Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空。(3) 扩散泵,压强可达0.133 Pa以下,(10-3 m...
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