多晶硅生产工艺
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下一篇 2008-04-28 16:48:04 / 精华(1)
/ 个人分类:多晶硅
- 文件版本: V1.0
- 开发商: 来源网络
- 文件来源: 网络
- 界面语言: 简体中文
- 授权方式: 共享
- 运行平台: Win9X/Win2000/WinXP
讨论目前电子级多晶硅的各种关键技术,并进行比较,主要内容如下:
1 多晶硅技术的特殊性及我国的差距;
2 主要的多晶硅生产技术选择
SiCl4 法
SiH2Cl2 法
SiH4 法
SiHCl3 法
3 电子级多晶硅流程
4 流床反应器和自由空间反应器
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