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多晶硅生产工艺

上一篇 / 下一篇  2008-04-28 16:48:04 / 精华(1) / 个人分类:多晶硅

  • 文件版本: V1.0
  • 开发商: 来源网络
  • 文件来源: 网络
  • 界面语言: 简体中文
  • 授权方式: 共享
  • 运行平台: Win9X/Win2000/WinXP

讨论目前电子级多晶硅的各种关键技术,并进行比较,主要内容如下:

1  多晶硅技术的特殊性及我国的差距;

2  主要的多晶硅生产技术选择

 SiCl4 法

 SiH2Cl2 法

 SiH4 法

 SiHCl3 法

3  电子级多晶硅流程

4  流床反应器和自由空间反应器



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引用 删除 00   /   2008-06-13 18:53:13
说的太简单了 这些基本的东西大家都知道
应该再稍微深刻点
引用 删除 Guest   /   2008-06-09 07:06:22
难J8  谁给你说  这是世界顶尖科技
引用 删除 张永   /   2008-05-29 15:19:28
你好!我也是一位搞单晶硅清洗的,能和你交流一下吗?我想了解一下多晶硅的清洗技术,麻烦你能给予讲解.我的 qq:359819057.
 

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