多晶硅氢还原炉
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下一篇 2008-04-28 16:03:23
/ 个人分类:多晶硅
申请号/专利号: 200410021979
本发明是一种多晶硅氢还原炉,由炉体、底板和上部的封头构成,封头上有冷却水腔、冷却出水口和启动装置法兰,炉体上有冷却水腔和冷却水进口,底板上有电极、进气口和排气口,炉体与底板之间用法兰连接,其特征在于本发明在氢还原炉内壁上附着了一层光滑的银质材料,利用银的
化学特性,使其参与多晶硅棒的生长,不仅可大大提高多晶硅的纯度,并且大大降低了氢还原炉的能耗。
| 申请日: | 2004年03月08日 |
| 公开日: | 2005年01月05日 |
| 授权公告日: | |
| 申请人/专利权人: | 成都蜀菱贸易发展有限公司 |
| 申请人地址: | 四川省成都市西御街8号西御大厦A座21楼 |
| 发明设计人: | 王姗 |
| 专利代理机构: | |
| 代理人: | |
| 专利类型: | 发明专利 |
| 分类号: | C01B33/023 |
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