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  • 多晶硅生产工艺

    2008-04-28 / 505人点击 / 3条评论 收藏 分享 圈子 管理 Digest 1

    讨论目前电子级多晶硅的各种关键技术，并进行比较，主要内容如下： 1 　多晶硅技术的特殊性及我国的差距； 2 　主要的多晶硅生产技术选择 　SiCl4 法 　SiH2Cl2 法 　SiH4 法 　SiHCl3 法 3 　电子级多晶硅流程 4 　流床反应...

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  • 建立时间: 2008-04-28
  • 更新时间: 2008-07-24

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